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z *小型可检查压力测试

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-09-12 15:42:17 * 浏览: 55
一般情况下,指数高于10 ^ -9Pa的四极杆质谱仪的z *小型可分离压力试验方法如下:1将试验系统泵入极限压力后,试验系统充满氦气使电离计量压力高于极限压力(1至2)倍。记录分子离子峰20u的离子电流I1和电离计的指示压力P1。 2调节进样阀,使电离表的指示压力增加1到10倍(但不高于2倍,10 ^ -4Pa),离子电流I2为20u,电离表P203的指示压力计算。 ) - 仪器对[[A / Pa],β,Nemdash,mdash,离子发生器对氖的相对灵敏度,相对丰度为0.909-氖20同位素的灵敏度。 3在z *慢扫描速度,z *敏感静电测量范围的条件下记录氖21同位素峰高H21(rrun)并确保峰高下降不超过10%响应时间,4手动调整到氖21和氖22在两个同位素峰之间的谷底,5关闭进样阀,将测试系统压力恢复到极限压力,记录压力PO,记录仪器输出N(mm),时间为Smin。每段噪声的峰 - 峰值以每分钟五段测量。五个峰值和一个峰值的平均值是噪声。计算公式中的0.00257是氖21同位素的相对丰度。对于z *可检测压力小于10 ^ -9Pa的仪器,技术指标测试可以通过使用空气中氦气体积分数为5.2×10 ^ -6来测量空气样品中的焓,参见以上方法。进行。