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真空泵:涡轮分子泵系统

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-09-20 17:10:03 * 浏览: 48
高压缩比涡轮分子泵使用两级旋片式真空泵作为前级,以获得5倍和10-9Pa的真空。使用扩散泵作为前级,可以获得10-9Pa的真空。在泵入口处安装钛升华阱以获得大于10-9 Pa的真空。涡轮分子泵相对较少地压缩氢气,并且残余气体主要是氢气。泵的最终氢分压受到泵的压缩比和前级管道中的氢分压的限制。扩散泵用作前级以降低前级管道中的氢分压,从而增加泵的极限真空。涡轮分子泵具有大的内表面积并且必须烘烤气体。由于结构限制,通常只允许烘烤至约100°C。为了消除粗抽期间的污染,可以通过涡轮分子泵进行粗抽。在这种情况下,要求机械泵具有足够大的抽速,使得涡轮分子泵转数达到额定转数的75%。将真空室泵送至20Pamdash,200Pa。通常,涡轮分子泵的加速时间为5分钟至10分钟,这意味着机械泵的排气时间必须小于该范围。