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真空计:分离计,短集极计等概述

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-12-01 0:20:09 * 浏览: 54
隔离规(图11-56)与抑制规的不同之处在于,它收集极短的细电线。添加了离子反射器。没有抑制器。环形阴极安装在栅格周围。阴极,屏幕和离子反射器的电压为200V,栅极电压为Vg = 305V,发射电流为Ie = 2mA,离子收集器通过静电计接地,灵敏度系数K = 0.98A / Pa被监管。 X射线效应下限压力Px约为4倍,10 ^ -11Pa。该量规的主要特征是电子碰撞解吸作用非常小。短集极仪(图11-57)和埋藏极仪(图11-58)的结构与分离仪相似,性能相似。文献1966年,文献[156]估计,短收集规的px为6.7倍,10 ^ -11Pa,预计可测得10 ^ -10Pa的压力。但是1968年的文献[157]报道。该压力计在6.7倍,10 ^ -8Pa压力下逐渐偏离线性。根据1972年的数据[158],一般的短程集尘计(包括上述三种)的测量下限约为1Pamdash,5倍,10 ^ -9Pa。