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真空泵系统基本操作规程

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-12-04 0:18:48 * 浏览: 0
(1)启动机械真空泵时,必须先确保转子朝正确的方向运动,并注意泵油箱中的油位应符合要求。 (2)在机械真空泵的进口处应安装差压阀。当机械泵停止运转时,立即将机械泵的入口打开到大气中。防止泵油回流到真空容器中。 (3)请勿使用机械泵直接将真空室抽至低于13pa的压力,否则机械泵的油蒸气很容易流回真空容器。因为当压力低于13pa时,会发生分子流动,并且油蒸气分子会回流到真空容器中并造成污染。如果在机械泵和真空容器之间设置了凝汽阀,则允许机械真空泵抽至低于13Pa的压力,此时凝汽阀可以防止油蒸气进入真空容器。 (4)请勿使机械真空泵在大气压或更高压力下长时间连续工作,否则电动机会过热,并且油雾会从泵出口喷出。 (5)在扩散泵(或注油泵)排空之前,应将泵油冷却至安全温度,以防止泵油在高温下氧化。 (6)加热前,应向蒸汽流量泵供应冷却水。另外,泵应配备一个热保护继电器。当发生断水时,可以立即关闭加热器电源,并关闭入口阀,以防止泵流体因温度过高而氧化。 (7)由于扩散泵油在泵启动过程中回流特别严重,并且泵停止加热,因此应在泵开启之前和停止之前关闭扩散泵入口处的高真空阀。以防止泵油回流到真空中。房间。 (8)压力高于10-2pa时,请勿在冷阱中添加液氮,否则会导致大量水蒸气凝结。在使用冷阱之前,必须清除液氮阱储罐中的所有冷凝水,以免水在阱中冻结。在泵送开始时,z *逐步被液氮填充,因此真空系统的冷凝水主要被捕集在捕集器的下部。当达到高真空时,捕集阱应充满液氮以达到更高的水平,以捕集大量气体。 (9)为了缩短排空时间,在短时间内将真空室通风至大气压时,最好使用干燥氮气。将真空系统内表面上的水分减少到最小z *。排气时,用真空室侧面的放气阀放气。不要从扩散泵出口的前级通风。 (10)当使用热阴极电离计时器时,真空室中的压力应达到1.33倍。当压力为10-11pa时,请打开电离器的电源,以防止调节的阴极灯丝因高压而燃烧。 (11)真空系统停止工作时,应保持真空状态并保持真空,但机械泵应排空。